Heute ist der
pfeil-1 Fizeau-Interferometer
pfeil-2FIZ 60
pfeil-2WFIZ 30
pfeil-2MFIZ 10
pfeil-1 Schräglicht-Interferomtr
pfeil-2SH 60
pfeil-2EP 30
pfeil-1-active Längen-Interferometer
pfeil-2UPM
pfeil-1 Mikropositioniersysteme
pfeil-2präpla S
pfeil-2präpla L
pfeil-1 Linearluftlager
pfeil-2LLL 50-50-500
pfeil-2LLS 25-60
pfeil-2LLW 100-160
pfeil-1 Rotationsluftlager
pfeil-2LLH 40-40
pfeil-2LLH 60-40
pfeil-2LLH 240-80
pfeil-2LLH 240-120
pfeil-1 Planarluftlager
pfeil-2LLP 100-100
pfeil-1 Referenznormale
pfeil-290/180/270
pfeil-2TN
pfeil-2SN
pfeil-1 Kontakt
pfeil-1 Englische Version
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Intop-Precision
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UPM Laserinterferometer

Längenmeßsystem mit 10 nm Auflösung bis 500 mm Meßweg
Lasersensor in kompakter, robuster Edelstahlhülse mit 17 mm Ø;
Lichtwellenlänge: 780 nm
Sinusperiode des Ausgangssignals ist äquivalent zu 390 nm;
optional mit internem Interpolationschip
und A quad B Ausgang mit 10 nm-Pulsen;
Retroreflektorkugel mit nur 2mm Durchmesser;
Treiberelektronik in einem 19" Einschubmodul mit Stahlblechgehäuse;
Betriebsspannung über rückseitige VG64 Steckerleiste,
Meßsignalausgang zur optionalen PC-Karte über Frontstecker;
Luftdruck und Lufttemperaturerfassung mit automatischer
Luftbrechungsindexkompensation als Option;
ideal für OEM-Anwendungen;

Plan als PDF zum download
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