Heute ist der
pfeil-1 Fizeau-Interferometer
pfeil-2FIZ 60
pfeil-2WFIZ 30
pfeil-2MFIZ 10
pfeil-1-active Schräglicht-Interferomtr
pfeil-2SH 60
pfeil-2EP 30
pfeil-1 Längen-Interferometer
pfeil-2UPM
pfeil-1 Mikropositioniersysteme
pfeil-2präpla S
pfeil-2präpla L
pfeil-1 Linearluftlager
pfeil-2LLL 50-50-500
pfeil-2LLS 25-60
pfeil-2LLW 100-160
pfeil-1 Rotationsluftlager
pfeil-2LLH 40-40
pfeil-2LLH 60-40
pfeil-2LLH 240-80
pfeil-2LLH 240-120
pfeil-1 Planarluftlager
pfeil-2LLP 100-100
pfeil-1 Referenznormale
pfeil-290/180/270
pfeil-2TN
pfeil-2SN
pfeil-1 Kontakt
pfeil-1 Englische Version
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Elektronisches Planglas

Die alte Methode mit dem Planglas kennt man:
- Direkter  Kontakt mit der Probe Verkratzen durch Drücken und Schieben zwecks Orientierung der Interferenzstreifen ("Lichtbänder")
- Funktioniert nur bei polierten Flächen
- umständliche Dokumentation

Das elektronische Planglas:
- Berührungslos, kein Verkratzen
- Messfläche misst bereits noch nicht polierte Flächen, auch Keramik (z.B. ab Läpp-Körnung 320, bzw. ab R kleiner/gleich 2 µm)
- mobiler Einsatz durch batteriebetriebenen Laser und Funkübertragung des Messbildes zum PC 
- Schnelle Prüfung vor Ort - z.B. auch direkt auf einer Planschleifmaschine
- Streifenäquivalent 1 µm

Das Elektronische Planglas ist ein Schräglicht-Interferometer d.h. ein Ebenheitsmessgerät für die interferometrische Vermessung rauher, d.h. feinstgeschliffener und geläppter Oberflächen. Das Interferometer bildet zusammen mit einer geeigneten Probenhalterung ein komplettes Mess-System für die Qualitätssicherung im Fertigungsbereich.

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EP 30
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