Heute ist der
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pfeil-2FIZ 60
pfeil-2WFIZ 30
pfeil-2MFIZ 10
pfeil-1 Schräglicht-Interferomtr
pfeil-2SH 60
pfeil-2EP 30
pfeil-1 Längen-Interferometer
pfeil-2UPM
pfeil-1 Mikropositioniersysteme
pfeil-2präpla S
pfeil-2präpla L
pfeil-1 Linearluftlager
pfeil-2LLL 50-50-500
pfeil-2LLS 25-60
pfeil-2LLW 100-160
pfeil-1 Rotationsluftlager
pfeil-2LLH 40-40
pfeil-2LLH 60-40
pfeil-2LLH 240-80
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pfeil-1-active Planarluftlager
pfeil-2LLP 100-100
pfeil-1 Referenznormale
pfeil-290/180/270
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LLP 100 Luftlagertragplatten

Luftlagertragplatte mit Vakuumvorspannung
Tragkraft bei zentraler Belastung:
500 N bei 0,4 MPa Speisedruck
(Voraussetzung ist eine ebene Lauffläche wie z.B. eine geläppte Hartgestein-Meßplatte)

Abmessungen:  99,5 mm x 99,5 mm x 20 mm
Anschlüsse: über M5-Standardnippel

typische Anwendung:
Verschiebung schwerer Teile auf einer Meßplatte mit anschließender Klemmung per Vakuum

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